题 目：面向极紫外(EUV)光源的实验流体力学探索
报告人：邓巍巍 南方科技大学
时间：2023年4月6日星期四下午14:00
地点：上海大学延长校区力学所200学术报告厅
专家简介
邓巍巍，南方科技大学教授，研究生院副院长，长江学者特岗教授。本科和硕士毕业于清华大学，博士毕业于耶鲁大学。曾任美国弗吉尼亚理工大学(Virginia Tech)长聘副教授，并获得美国自然科学基金青年教授奖(NSF CAREER Award)。研究领域为微尺度实验流体力学。主持国家自然科学基金重点项目和专项项目。发表SCI论文70余篇，包括两篇JFM和三篇PRL（其中两篇为封面文章）。
摘要信息
极紫外(EUV)光源是EUV光刻机的核心组件，是民族芯片产业的卡脖子技术。主流EUV光源的原理是通过激光脉冲轰击锡液滴来产生高温等离子体并辐射EUV光子。纳秒激光轰击液体靶涉及特征时间跨越五个数量级的极端流体力学过程，相继出现激光烧蚀、等离子体膨胀、界面失稳、细雾飞溅等丰富的流体力学现象。因此，与传统的固体光源（半导体激光、LED等）和气体光源（二氧化碳/准分子激光等）不同，EUV是基于等离子体的流体光源。南科大EUV流体力学团队围绕靶球生成和激光轰击动力学开展了一系统探索研究。我们将介绍采用轴向和展向主动激励实现小直径、大间距的液滴靶方案；通过超高速摄影对打靶过程进行可视化；射流靶的长程能量传导现象和相应机理解释。围绕激光打靶方面的基础流体力学实验研究有助于加速毫瓦级EUV光源的研发，并可用于多个EUV光刻工艺环节。
